| 纳米金属多层薄膜的塑性变形不稳定性及疲劳损伤机制 |
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| 引用本文： | 张广平.纳米金属多层薄膜的塑性变形不稳定性及疲劳损伤机制[J].中国基础科学,2006,8(4):26-27. |
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| 作者姓名： | 张广平 |
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| 作者单位： | 中科院金属所沈阳材料科学国家(联合)实验室材料疲劳与断裂研究部 |
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| 摘 要： | 多层薄膜广泛应用于集成电路芯片、各种微/纳传感器及微电子机械系统中。大量的研究表明,当这些材料的几何尺寸减小到亚微米甚至纳米尺度时,会表现出诸多不同于块体材料的物理性能。特别是其力学性能已不能够完全采用传统块体材料的理论与模型进行描述与评价。因此,澄清具有纳米尺度的多层薄膜材料的力学行为及其尺度效应是目前微/纳米系统中有待解决的小尺度器件材料的可靠性问题。根据经典的Hall Petch细晶强化理论,减小材料内部的晶粒尺寸可以显著提高材料的屈服强度。为此,近年来人们通过不同的制备和加工手段获得了超细晶和纳米晶材料…
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| 关 键 词： | 多层薄膜材料 损伤机制 不稳定性 塑性变形 纳米金属 微电子机械系统 块体材料 疲劳 集成电路芯片 纳米尺度 |
Plastic Deformation Instability and Fatigue Mechanism of Nanoscale Metallic Multilayers |
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| Zhang Guangping.Plastic Deformation Instability and Fatigue Mechanism of Nanoscale Metallic Multilayers[J].China Basic Science,2006,8(4):26-27. |
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| Authors: | Zhang Guangping |
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