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| 薄膜镀层的XRD分析 | |
| 作者姓名： | 黄清明 俞建长 吴万国 |
| 作者单位： | 1. 福州大学测试中心,福建,福州,350002 2. 福州大学材料科学与工程学院,福建,福州,350002 |
| 摘 要： | 利用X射线多晶衍射和计算机模拟的方法对薄膜镀层的物相成分、晶粒度大小、膜厚度、粗糙度、膜密度、吸收系数、折射因子进行测试分析,分析结果表明采用此方法对薄膜进行分析准确度高,速度快. |
| 关 键 词： | X射线衍射 薄膜 分析 |
| 文章编号： | 1000-2243(2004)06-0773-03 |
| 修稿时间： | 2004-02-16 |
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