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| Si3N4／SiO2栅pH—ISFET传感器的设计与模型 | |
| 引用本文： | 丁辛芳.Si3N4／SiO2栅pH—ISFET传感器的设计与模型[J].东南大学学报(自然科学版),1997,27(6):103-108. |
| 作者姓名： | 丁辛芳 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心 |
| 摘 要： | 提出了一种含微参比电极和择优差补偿单元的背面引线ＰＨ－ＩＳＦＥＴ传感器的新结构，实现了敏感元和信号处理电路的完全隔离；基于ＳＤＢ／ＳＤＩ材料和硅微机械加工技术，研制成ＰＨ－ＩＳＦＥＴ传感器；讨论了含两种类型表面基的Ｓｉ３Ｎ４／ＳｉＯ２绝缘栅中硅醇基与胺基所占比率对Ｓｉ３Ｎ４／ＳｉＯ４栅ＰＨ－ＩＳＦＥＴ的敏感性能和稳定性的影响，对进一步改善ＰＨ－ＩＳＦＥＴ的敏感性能提供了一种实际的考虑。 |
| 关 键 词： | pH－ISFET 传感器 表面基 敏感特性 化学传感器 |
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