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| 激光熔蒸制备纳米硅微粒的Raman分析 | |
| 引用本文： | 谢可,陈松岩,林华传,张芹,黄传敬.激光熔蒸制备纳米硅微粒的Raman分析[J].厦门大学学报(自然科学版),2005,44(6):330-333. |
| 作者姓名： | 谢可 陈松岩 林华传 张芹 黄传敬 |
| 作者单位： | [1]厦门大学物理学系 [2]厦门大学化学系，福建厦门361005 |
| 摘 要： | 以流动气体(N2，Ar2)作为反应环境。利用开放式激光熔蒸系统。通过改变制备参数：熔蒸激光强度，流动气体种类及其流速，激光熔蒸时间，制备出一系列纳米硅样品．利用Raman光谱对在不同参数下所得到的样品表面形貌进行分析，可以看出，激光强度对生成的样品表面形貌有最直接的影响。并决定生成粒子的大小．而流动气体的种类则影响着沉积粒子的分布及其大小．流动的气体防止生成的纳米硅在开放系统中被氧化。而激光熔蒸时间对样品表面形貌的作用则表现的不是很明显． |
| 关 键 词： | 纳米硅 Raman光谱 微粒 表面形貌 流动气体 激光强度 制备参数 气体种类 开放系统 开放式 硅样品 时间 粒子 |
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