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分类号
杂志ISSN号
NTD硅电子辐照缺陷的等时退火特性
作者姓名:
戴培英 李燕山
作者单位:
[1]郑州大学物理工程学院 [2]中山州大学工程系
摘 要:
本文研究了NTD硅,经电子辐照缺陷的等时退火特必最五个缺陷能级,结果表明其中E3和E4级有比它三个能级的热稳定性更好。
关 键 词:
NTD硅 电子辐照 缺陷能级 等时退火 硅
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