| 特种压阻式加速度传感器的研制 |
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| 引用本文： | 赵立波,赵玉龙,蒋庄德.特种压阻式加速度传感器的研制[J].西安交通大学学报,2006,40(9):1049-1052. |
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| 作者姓名： | 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械工程学院,710049,西安;西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,710049,西安 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);国家自然科学基金;教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.
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| 关 键 词： | 微型机械电子系统 固态压阻平膜芯片 弹性梁 高过载 加速度传感器 |
| 文章编号： | 0253-987X（2006）09-1049-04 |
| 收稿时间： | 2005-12-21 |
| 修稿时间： | 2005年12月21 |
Research on Special Piezoresistive Acceleration Sensor |
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| Zhao Libo,Zhao Yulong,Jiang Zhuangde.Research on Special Piezoresistive Acceleration Sensor[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2006,40(9):1049-1052. |
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| Authors: | Zhao Libo Zhao Yulong Jiang Zhuangde |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro electro-mechanical system solid piezoresistive silicon flat chip elastic beam high overload acceleration sensor |
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