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B离子注入n(Si)—CaAs层的特性研究
引用本文:刘伊犁,罗晏.B离子注入n(Si)—CaAs层的特性研究[J].北京师范大学学报(自然科学版),1992,28(4):472-477.
作者姓名:刘伊犁  罗晏
摘    要:

关 键 词:离子注入  砷化镓  硼离子
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