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| 退火的非晶硅薄膜的Raman光谱研究 | |
| 引用本文： | 汪兆平,方容川,梁培辉.退火的非晶硅薄膜的Raman光谱研究[J].中国科学技术大学学报,1983(1). |
| 作者姓名： | 汪兆平 方容川 梁培辉 |
| 作者单位： | 中国科学院北京半导体所 (汪兆平)，中国科学技术大学物理系 (方容川)，中国科学院上海光机所(梁培辉) |
| 摘 要： | 用Raman谱方法研究了非晶态硅薄膜退火后的一些特性,进一步证明了超短脉冲激光退火的样品是层状的结晶结构。用Stokes线强度与反Stokes线强度之比测定了晶格的内部温度,与用热偶直接读数相符合。同时,还使用这个方法研究了Raman谱仪激光束对退火样品的加热作用。 |
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