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机械加工表面微观形貌激光测量分析仪的设计
引用本文:朱静,陈良海,等.机械加工表面微观形貌激光测量分析仪的设计[J].南通工学院学报(自然科学版),2002,1(3):74-76.
作者姓名:朱静  陈良海
作者单位:[1]淮安信息职业技术学院,江苏淮安223001 [2]淮阴工学院电子信息工程系,江苏淮安223001
摘    要:提出了用于测量加工表面微观轮廊高度的高频亮度调制、同源频率合成、软件鉴相的激光相位微距测量方法,提出了开放式PC系统结构。介绍了机械加工表面微观形貌激光测量评价仪的原理、测量电路设计与数字信号处理软件设计。该方法具有分辨率高、动态响应快、评价指标参数多样且可扩充等特点。

关 键 词:机械加工表面微观形貌激光测量分析仪  设计  高频亮度调制  激光相应测距  数字信号处理  频率合成
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