| 离子注入材料改性用强流金属离子源 |
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| 引用本文： | 张孝吉,张荟星.离子注入材料改性用强流金属离子源[J].北京师范大学学报(自然科学版),1991,27(1):23-28. |
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| 作者姓名： | 张孝吉 张荟星 |
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| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所，北京师范大学低能核物理研究所 |
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| 摘 要： | 为满足离子注入材料改性研究和实际应用的需要。研制了一个金属蒸汽真空弧(简称MEVVA)离子源.这是一新型离子源种,它利用阴极和阳极间的真空弧放电原理由阴极表面直接产生高密度金属等离子体,经一多孔三电极系统引出得到强流金属离子束.该源脉冲工作方式,已引出Al,Ti,Fe,Cu,Mo和W等离子,脉冲离子束流强度为0.6～1.26A,Ti的平均束流强度已达10mA.引出束流大小与源的工作参数、引出结构和电压以及阴极材料有关。该源没有气体负载,工作真空度为3×10~(-4)Pa。
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| 关 键 词： | 离子源 离子注入 材料改性 金属 |
HIGH CURRENT METAL ION SOURCE FOR MATERIAL MODIFICATION BY ION IMPLANTATION |
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| Zhang Xiaoji Zhang Huixing Zhou Fengsheng Zhang Shengji Hun zhuen.HIGH CURRENT METAL ION SOURCE FOR MATERIAL MODIFICATION BY ION IMPLANTATION[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),1991,27(1):23-28. |
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| Authors: | Zhang Xiaoji Zhang Huixing Zhou Fengsheng Zhang Shengji Hun zhuen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion source vacuum arc discharge metal plasma ion beam |
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