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| a—Si：H薄膜的激光诱导结晶 | |
| 引用本文： | 孟祥东.a—Si：H薄膜的激光诱导结晶[J].松辽学刊,2004,25(1):28-29,32. |
| 作者姓名： | 孟祥东 |
| 摘 要： | 利用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)系统制备了a—Si：H薄膜．使用KrF准分子脉冲激光对a-Si：H薄膜进行辐照，使a-Si：H晶化．拉曼散射谱和电子衍射谱的结果表明经过激光辐照后在a—Si：H层形成纳米硅颗粒． |
| 关 键 词： | 薄膜 激光诱导结晶 等离子体增强 化学气相淀积 硅 半导体材料 |
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