| 微波等离子体化学气相沉积β-C_3N_4超硬膜的研究 |
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| 引用本文： | 张永平,顾有松,常香荣,田中卓,时东霞,马立平,张秀芳,袁磊.微波等离子体化学气相沉积β-C_3N_4超硬膜的研究[J].河北科技大学学报,1999,20(4):1-4. |
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| 作者姓名： | 张永平 顾有松 常香荣 田中卓 时东霞 马立平 张秀芳 袁磊 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学材料物理系,北京,100083
2. 中国科学院北京真空物理实验室 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;19674009; |
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| 摘 要： | 采用微波等离子体化学气相沉积法（ＭＰＣＶＤ），用高纯氮气（９９．９９９％ ）和甲烷（９９．９％ ）作反应气体，在多晶铂（Ｐｔ）基片上沉积Ｃ３Ｎ４ 薄膜。利用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）观察薄膜形貌表明，薄膜由针状晶体组成。Ｘ射线能谱（ＥＤＸ）分析了这种晶态Ｃ－Ｎ膜的化学成分。对不同样品不同区域的分析结果表明，Ｎ／Ｃ比接近于４／３。Ｘ射线衍射结构分析说明该膜主要由β－Ｃ３Ｎ４ 和α－Ｃ３Ｎ４ 组成。利用Ｎａｎｏ ｉｎｄｅｎｔｅｒ Ⅱ测得Ｃ３Ｎ４ 膜的体弹性模量Ｂ达到３４９ ＧＰａ，接近ｃ－ＢＮ（３６７ ＧＰａ）的体弹性模量，证明Ｃ３Ｎ４ 化合物是超硬材料家族中的一员。
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| 关 键 词： | C_3N_4 微波等离子体化学气相沉积法 薄膜沉积 超硬材料 |
| 修稿时间： | 1998-11-09 |
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