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工艺参数对SUS304不锈钢抛光速度与抛光质量的影响
引用本文:张强,赵永武. 工艺参数对SUS304不锈钢抛光速度与抛光质量的影响[J]. 江南大学学报(自然科学版), 2015, 14(3): 321-325
作者姓名:张强  赵永武
作者单位:江南大学机械工程学院,江苏无锡,214122
基金项目:国家自然科学基金项目,中央高校基本科研业务费专项基金项目,清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项目,教育部留学回国人员科研启动基金项目,江苏省普通高校研究生科研创新计划项目
摘    要:为提高不锈钢的抛光质量与效率,配制新型环保不锈钢抛光液,对SUS304不锈钢进行化学机械抛光.研究压力载荷、抛光时间、抛光线速度、pH值等工艺参数对不锈钢抛光性能的影响,结果表明,SUS304不锈钢在最佳的工艺参数组合下,可以达到最佳的抛光效果.

关 键 词:化学机械抛光  SUS304不锈钢  抛光工艺参数  材料去除率  粗糙度

Resarch of the Influence of Process Parameters on the Polishing Speed and Polishing Quality of SUS304 Stainless Steel
ZHANG Qiang , ZHAO Yongwu. Resarch of the Influence of Process Parameters on the Polishing Speed and Polishing Quality of SUS304 Stainless Steel[J]. Journal of Southern Yangtze University:Natural Science Edition, 2015, 14(3): 321-325
Authors:ZHANG Qiang    ZHAO Yongwu
Abstract:
Keywords:chemical mechanical polishing  SUS304 stainless steel  polishing process parameters  material removal rate  roughness
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