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| 用于表面形貌测量的自动焦点跟踪方法 | |
| 引用本文： | 谢峰,谢铁邦.用于表面形貌测量的自动焦点跟踪方法[J].华中师范大学学报(自然科学版),1999,33(4):523-527. |
| 作者姓名： | 谢峰 谢铁邦 |
| 作者单位： | 华中理工大学机械学院!武汉430074 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动点跟踪传感器，该传感器可实现表面形貌的快速，非接触测量，其测量范围为５００μｍ，分辨率可达３ｎｍ；详细地描述了该传感器的工作原理，关键技术的实现及其应用。 |
| 关 键 词： | 表面形貌 非接触测量 伺服控制 自动焦点跟踪 |
Research on focus tracing method for measuring surface topograph |
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| Xie Feng,Xie Tiebang,Li Zhu.Research on focus tracing method for measuring surface topograph[J].Journal of Central China Normal University(Natural Sciences),1999,33(4):523-527. | |
| Authors: | Xie Feng Xie Tiebang Li Zhu |
| Abstract: | |
| Keywords: | surface topography non contact measurement focus detection servo control |
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