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| 电子束表面分析的一点注记 | |
| 引用本文： | 罗正明,李文学.电子束表面分析的一点注记[J].四川大学学报(自然科学版),1993,30(4):556-557. |
| 作者姓名： | 罗正明 李文学 |
| 作者单位： | 四川大学原子核科学技术研究所 (罗正明，李文学)，四川大学原子核科学技术研究所(龙先灌) |
| 摘 要： | 人们通常应用10～10~2×keV的电子束来分析表面元素成份,并分为定性分析和定量分析。定性分析是要确定表面的元素组成;定量分析是要确定构成表面元素的浓度和相对比例.近年来,质子荧光分析(PLXE)技术有一个重要的进展,那就是应用改变能量或改变入射角的方法,由一组被测元素的特微X射线计数来测定该元素在表面深度的分布信息。该方法的基本原理是,如果N(E)代表x射线探测器的计数,c(x)为待测痕量元素的浓度分布,则N(E)和C(x)之间有一个积分关系: |
| 关 键 词： | 电子束 表面分析 质子荧光分析 |
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