| 真空镀膜机用小型磁性液体密封设计 |
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| 引用本文： | 于文娟,李德才,李艳文,张志力,董珈皓.真空镀膜机用小型磁性液体密封设计[J].北京交通大学学报(自然科学版),2021,45(5):124-129. |
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| 作者姓名： | 于文娟 李德才 李艳文 张志力 董珈皓 |
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| 作者单位： | 北京交通大学 机械与电子控制工程学院,北京 100044;北京交通大学 机械与电子控制工程学院,北京 100044;清华大学 摩擦学国家重点实验室,北京 100084;清华大学 摩擦学国家重点实验室,北京 100084 |
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| 摘 要： | 真空镀膜机的传动控制轴处密封通常采用的是接触式机械密封,易磨损、寿命短、制作工艺繁琐、造价高.本文设计了小轴径真空镀膜机用的磁性液体密封结构,对磁性液体密封结构的磁场进行了有限元分析,得到了密封结构的磁场分布,以及密封结构的极齿处磁场强度值.由磁性液体运动方程推导了伯努利方程,确定了磁性液体密封边界条件,推导了磁性液体密封结构的耐压公式,计算了极齿与转轴不同间隙的真空镀膜机磁性液体密封结构的耐压值,加工了间隙为0.1 mm的磁性液体密封装置,应用在真空镀膜机的转动轴动密封处,满足真空度要求.
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| 关 键 词： | 密封 磁性液体 有限元 真空镀膜机 |
Design of magnetic fluid seal of small vacuum coating machine |
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| YU Wenjuan,LI Decai,LI Yanwen,ZHANG Zhili,DONG Jiahao.Design of magnetic fluid seal of small vacuum coating machine[J].JOURNAL OF BEIJING JIAOTONG UNIVERSITY,2021,45(5):124-129. |
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| Authors: | YU Wenjuan LI Decai LI Yanwen ZHANG Zhili DONG Jiahao |
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