微机械生产发展的前景分析

微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点,近十年来,研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。一、前言微电子技术的发展,为通讯、信息处理和生产、生活及办公自动化等领域带来了巨大的进步,使人类的生活方式、思维方式和社会的产业结构发生了巨大的变化,将人类带入了信息时代。在电子技术深入发展的同时,一项新的技术棗微机械技术悄然的诞生。微机械发展迅速,具有巨大的发展潜力和应用前景。许多科学家坚信,它将成为继微电子技术之后又一项推动社会迅速进步的革命性技术。微机械的全称为微电子机械系统,是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。早在六十年代,微机械技术的概念就开始萌芽,一些富有创见的科学家开始探索用硅的微加工方法,制作传感器、执行器和控制器,并设想将它们集成在微小的几何空间,从而形成高度自动化、智能化、可以大批量生产、价格低廉的微电子机械系统。微机械压力传感器等技术的成熟并市场化,IC工艺制作的静电微电机的研制成功,标志着微机械技术已经发展成了一门独立的新兴学科。十余年间,微机械技术取得了众多新成果,微机械技术透浸到众多领域,产生了巨大的经济和社会效益,展现了美好的前景。