| 离子束辅助沉积钼酸铅晶体表面红外增透膜 |
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| 引用本文： | 周团团,胡焕林,孙嵩泉.离子束辅助沉积钼酸铅晶体表面红外增透膜[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2003,26(2):242-245. |
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| 作者姓名： | 周团团 胡焕林 孙嵩泉 |
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| 作者单位： | 1. 合肥工业大学,机械与汽车工程学院,安徽,合肥,230009
2. 普乐光技术有限公司,安徽,合肥,230088 |
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| 摘 要： | 由于钼酸铅晶体具有优异的机械特性、光学特性及较高的声光品质因数,故采用离子束辅助沉积技术,在钼酸铅晶体表面制备了宽带红外增透膜。文章简单介绍了镀膜设备的改造特点,并对整个工艺过程进行了分析研究。试验表明所镀膜层的光学特性及膜层品质大大提高,在光纤通信领域具有广阔的应用前景。
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| 关 键 词： | 离子束辅助沉积(IAD) 钼酸铅晶体 红外增透膜 真空系统 |
| 文章编号： | 1003-5060(2003)02-0242-04 |
| 修稿时间： | 2002年5月23日 |
Preparation of infrared antireflection coating on PbMoO4 substrate by using ion-assisted deposition technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion-assisted deposition(IAD) PbMoO_4 single crystal infrared antireflection coating vacuum system |
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