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电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解
引用本文:尹明,孙晓军.电子束扫描偏转系统参量非劣解中的最优解[J].山东科学,1998,11(1):28-30,34.
作者姓名:尹明  孙晓军
摘    要:电子束扫描系统决定了电子束机的动态特性,本文以电子束偏转磁场的畸变为目标对其参量进行非劣解中找出贴近于理想值的最优解。

关 键 词:偏转磁场  象差  VLSI  电子束机  电子束扫描系统
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