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二氧化锡薄膜结构对光学气敏特性的影响 ̄①
引用本文:黄光周,于继荣,张书生,周佐平.二氧化锡薄膜结构对光学气敏特性的影响 ̄①[J].云南大学学报(自然科学版),1997(1).
作者姓名:黄光周  于继荣  张书生  周佐平
作者单位:华南理工大学电子与通信工程系
基金项目:①国家自然科学基金资助项目。
摘    要:研究了SnO2薄膜的光学特性及有关光学参数的推导,建立了光学气敏的数学模型。较详细地研究了不同结构的SnO2薄膜接触还原性气体后光透射率的变化,采用不同方法制备的SnO2薄膜,由于结构不同,光透射率不一样,利用计算机对光学气敏的数学模型进行摸拟计算,其结果能很好地解释上述的现象。

关 键 词:二氧化锡,光学气敏,光谱,气敏效应
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