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低能离子注入的应用
引用本文:
关安民,罗潮渭.低能离子注入的应用[J].科技通讯(上海),1995(2):29-32.
作者姓名:
关安民
罗潮渭
摘 要:
集成电路的发展要求制备了出超浅结或超薄有源层,以满意器件高密度和高速度的要求,低能离子注入是形成浅结的最有效手段,本文介绍了低能离子注入硅和GaAs衬底中形成0.1μm以下的硅超浅结和GaAs超薄有源层,以及其在一些器件上应用的结果。
关 键 词:
低能离子注入
超薄有源层
离子注入
半导体
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