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| 一种新型阴极研究装置 | |
| 作者姓名： | 郝世明 王慧芳 杨建参 |
| 作者单位： | 河南科技大学理学院，北京工业大学材料科学与工程学院北京100022，河南科技大学高温材料研究院，北京工业大学材料科学与工程学院 河南洛阳471003，河南洛阳471003，北京100022 |
| 基金项目： | 国家863基金项目(2002AA322010)，河南科技大学人才科学研究基金(05-079、05-118)，河南科技大学青年科学研究基金(2006QN042)。 |
| 摘 要： | 介绍了一种新型的专为阴极研究设计的与俄歇能谱仪(AES)相连的脉冲激光沉积(PLD)装置,本装置可以实现阴极薄膜的快速制备,测量发射性能和原位分析表面成分。简述了此装置在研究阴极表面发射机制最新应用。 |
| 关 键 词： | 阴极 脉冲沉积 薄膜 表面 发射机制 |
| 文章编号： | 1673-0534（2007）07（a）-0003-02 |
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