| 铁电薄膜C-V特性测量研究 |
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| 引用本文： | 冯术成,杨传仁,陈宏伟,符春林,廖家轩,尹开锯.铁电薄膜C-V特性测量研究[J].实验科学与技术,2005,3(Z1):129-131. |
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| 作者姓名： | 冯术成 杨传仁 陈宏伟 符春林 廖家轩 尹开锯 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
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| 摘 要： | 采用TH2828型LCR测试仪及四端对接测量方法,搭建了铁电薄膜的介电特性测试平台.利用此测试平台对自制钛酸锶钡(简称BST)铁电薄膜材料的C-V特性进行测量,能准确表征铁电薄膜的介电特性.
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| 关 键 词： | 铁电薄膜 C-V特性测量 四端对接 实验 |
| 文章编号： | 1672-4550(2005)03-0129-03 |
| 修稿时间： | 2005年5月31日 |
Study of Measuring C- V Characteristic in Ferroelectric Thin Films |
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| Feng Shucheng,Yang Chuanren,Chen Weihong,Fu Chunlin,Liao Jiaxuan,Yin Kaiju.Study of Measuring C- V Characteristic in Ferroelectric Thin Films[J].Experiment Science & Technology,2005,3(Z1):129-131. |
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| Authors: | Feng Shucheng Yang Chuanren Chen Weihong Fu Chunlin Liao Jiaxuan Yin Kaiju |
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