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| 大量程高精度非球面光学元件检测平台设计 | |
| 引用本文： | 潘昆,郭隐彪,柯晓龙.大量程高精度非球面光学元件检测平台设计[J].厦门理工学院学报,2008,16(Z1). |
| 作者姓名： | 潘昆 郭隐彪 柯晓龙 |
| 作者单位： | 厦门大学物理与机电工程学院,福建,厦门,361005 |
| 基金项目： | 福建省科技计划重点项目 |
| 摘 要： | 针对目前高精度,大量程的非球面检测需求,综合考虑各部件对平台精度的影响,完成了对平台的机械系统,探测系统和运动控制系统的设计.该非球面光学元件检测平台采用花岗岩框架结构,以增加整体结构的刚度,减小自身热变形引起的几何误差.系统的探测系统采用了接触/非接触式双重测量的检测方法,既提高了测量的速度,又增加了测量数据的可靠性.运动控制系统则采用运动控制卡+伺服电机的三轴联动的开放式运动控制方式,满足了高精度非球面光学元件的检测需要. |
| 关 键 词： | 非球面光学元件 大量程 检测平台 控制 |
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