| 电子束蒸发方法制备ZnO薄膜的结构和光学特性研究 |
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| 引用本文： | 马丛笑,宁潜艳,郑才平. 电子束蒸发方法制备ZnO薄膜的结构和光学特性研究[J]. 哈尔滨商业大学学报(自然科学版), 2001, 17(3): 31-32 |
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| 作者姓名： | 马丛笑 宁潜艳 郑才平 |
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| 作者单位： | 哈尔滨师范大学物理系,;哈尔滨师范大学物理系,;哈尔滨师范大学物理系, |
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| 摘 要： | 用电子束蒸发方法在硅衬低上制备ZnO薄膜,测量了ZnO薄膜的XRD谱,表明六角晶体结构的薄膜具有强C轴择优取向(002),并且,测量了ZnO薄膜样品的二次离子质谱(SIMS),表明其化学剂量比为1∶1。在光致发光实验中,用He-Cdi激光器的325nm(50mω)波长激发,观察到了385nm的紫外光发射。
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| 关 键 词： | 电子束蒸发 光致发光 薄膜 X射线衍射(XRD) |
| 文章编号： | 1004-1842(2001)03-0031-02 |
| 修稿时间： | 2001-05-19 |
Research On Structural and Optical Charactors of Preparation ZnO Pellicle By Using Electron Beam Transpiration Method |
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| MA Cong-xiao,NING Qian-yan,ZHENG Cai-ping. Research On Structural and Optical Charactors of Preparation ZnO Pellicle By Using Electron Beam Transpiration Method[J]. Journal of Harbin University of Commerce :Natural Sciences Edition, 2001, 17(3): 31-32 |
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| Authors: | MA Cong-xiao NING Qian-yan ZHENG Cai-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | electron beam transpiration shining brought by lights pellicle XRD |
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