| 基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测 |
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| 引用本文： | 傅贵武,申路,王宇华.基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测[J].佛山科学技术学院学报(自然科学版),2013,31(2):58-61. |
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| 作者姓名： | 傅贵武 申路 王宇华 |
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| 作者单位： | 1. 佛山科学技术学院机电工程系,广东佛山,528000
2. 佛山科学技术学院机电工程系,广东佛山528000;华南理工大学机械与汽车工程学院,广东广州510640 |
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| 基金项目： | 佛山科学技术学院科研资助项目 |
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| 摘 要： | 将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中,该方法具有非接触、大量程、高精度、高效率等特点,水平分辨力为亚微米级,垂直分辨力可以达到纳米量级,并通过Hilbert变换法提取包络峰值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。研究结果表明,垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检测,满足设计中提出的精度要求。
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| 关 键 词： | 白光干涉 微齿轮 几何特征检测 |
A white-light interference-based measurement of the geometric characteristic of micro device |
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| FU Gui-wu
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SHEN Lu
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WANG Yu-hua.A white-light interference-based measurement of the geometric characteristic of micro device[J].Journal of Foshan University(Natural Science Edition),2013,31(2):58-61. |
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| Authors: | FU Gui-wu SHEN Lu WANG Yu-hua |
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| Institution: | 1(1.Department of Mechatronics Engineering,Foshan University,Foshan 528000,China;2.School of Mechanical and Automotive Engineering,South China University of Technology,Guangzhou 510640,China) |
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