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BaTiO3介电薄膜的微弧氧化制备及表面形貌
引用本文:王敏,郭会勇,黄文波,李文芳,张果戈.BaTiO3介电薄膜的微弧氧化制备及表面形貌[J].华南理工大学学报(自然科学版),2011,39(11):109-113,119.
作者姓名:王敏  郭会勇  黄文波  李文芳  张果戈
作者单位:华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州,510640
摘    要:通过正交试验优化了微弧氧化制备表面形貌较好、粗糙度较小的BaTiO3薄膜的工艺参数,对最优工艺参数下制备的薄膜进行了表征,并研究了溶液浓度、电流频率、电流密度和反应时间对薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响.结果表明:在最优工艺条件下(Ba(OH)2溶液浓度0.5mol/L、电流频率100 Hz、电流密度2.0A/cm2、反...

关 键 词:微弧氧化  钛酸钡薄膜  介电性能  表面形貌  表面粗糙度

Preparation of BaTiO3 Dielectric Film via Micro-Arc Oxidation and Surface Morphology of the Product
Wang Min,Guo Hui-yong,Huang Wen-bo,Li Wen-fang,Zhang Guo-ge.Preparation of BaTiO3 Dielectric Film via Micro-Arc Oxidation and Surface Morphology of the Product[J].Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition),2011,39(11):109-113,119.
Authors:Wang Min  Guo Hui-yong  Huang Wen-bo  Li Wen-fang  Zhang Guo-ge
Abstract:
Keywords:
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