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| 渤海大学大型仪器简介 | |
| 摘 要： | 正三维非接触式表面形貌仪仪器中文名:三维非接触式表面形貌仪仪器英文名:3D Non Contact Metrology型号:ST400制造商:美国NANOVEA公司产地:美国主要技术指标:300μm的光学测量探头:1.Z方向最小分辨率:12nm2.Z方向最大测量范围:300μm3.工作距离:11mm |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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