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| GaAs非平面衬底液相外延的实验研究 | |
| 引用本文： | 杜国同,邓希敏,王启林,徐辉,肖建伟,马骁宇,高鼎三.GaAs非平面衬底液相外延的实验研究[J].吉林大学学报(理学版),1987(1). |
| 作者姓名： | 杜国同 邓希敏 王启林 徐辉 肖建伟 马骁宇 高鼎三 |
| 作者单位： | 吉林大学电子科学系半导体光电子学与集成光学研究室 (杜国同，邓希敏，王启林，徐辉，肖建伟，马骁宇)，吉林大学电子科学系半导体光电子学与集成光学研究室(高鼎三) |
| 摘 要： | 本文介绍了在GaAs非平面衬底上进行液相外延的实验,研究了沟槽形状等衬底几何参数和降温速度、过冷度等外延条件对外延层的影响。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |