| EPBS对氚化钛薄膜中氚量及分布的初步分析 |
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| 引用本文： | 邬琦琦,龙兴贵,毛莉,孙洪伟,安竹.EPBS对氚化钛薄膜中氚量及分布的初步分析[J].四川大学学报(自然科学版),2013,50(4):797-801. |
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| 作者姓名： | 邬琦琦 龙兴贵 毛莉 孙洪伟 安竹 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院核物理与化学研究所;中国工程物理研究院核物理与化学研究所;中国工程物理研究院核物理与化学研究所;中国工程物理研究院核物理与化学研究所;四川大学原子核科学技术研究所辐射物理及技术教育部重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(10674097,11175123) |
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| 摘 要： | 近年来,我们致力于将氚$衰变诱发X射线谱分析(BIXS)方法发展成为一种准确测量含氚薄膜中氚量及分布的常规方法.该方法结合了蒙特卡罗模拟与Tikhonov正则法,近期已用于一系列氚化钛薄膜样品总氚量、深度分布的分析.增强质子背散射分析(EPBS)方法作为一种快速、无损的杂质成分含量及深度分布的分析手段,在本文中被用于该系列氚化钛薄膜样品的分析,并与相应的BIXS结果进行了比较,对分析中的有关问题也进行了讨论.
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| 关 键 词： | 氚分析 BIXS方法 EPBS方法 |
| 收稿时间： | 2013/1/20 0:00:00 |
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