| 区熔再结晶制备多晶硅薄膜太阳电池 |
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| 引用本文： | 李维刚,许颖,励旭东,姬成周.区熔再结晶制备多晶硅薄膜太阳电池[J].北京师范大学学报(自然科学版),2001,37(6):746-749. |
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| 作者姓名： | 李维刚 许颖 励旭东 姬成周 |
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| 作者单位： | 1. 北京师范大学低能核物理研究所,
2. 北京市太阳能研究所光电室, |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);; |
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| 摘 要： | 研究了区溶再结晶（ZMR）设备及其工艺特点。在覆盖SiO2的重掺P型单晶硅衬底上用快速热化学气相沉积（RTCVD）在其上沉积一层很薄的多晶硅薄膜，用区熔再结晶法对薄膜进行处理，得到了晶粒致密，且取向一致的多晶硅薄膜层。以此薄膜层为籽晶层，再在上面以RTCVD制备电池活性层，经过标准的太阳电池工艺，得到了转换效率为10．21％，填充因子为0．6913的电池产品。
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| 关 键 词： | 区熔再结晶 多晶硅薄膜 太阳电池 快速热化学气相沉积 制备工艺 转换效率 |
| 修稿时间： | 2001年4月23日 |
ZONE MELTING RECRYSTALLIZATION FOR POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM SOLAR CELLS |
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| Li Weigang,Xu Ying,Li Xudong,Ji Chengzhou.ZONE MELTING RECRYSTALLIZATION FOR POLYCRYSTALLINE SILICON THIN FILM SOLAR CELLS[J].Journal of Beijing Normal University(Natural Science),2001,37(6):746-749. |
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| Authors: | Li Weigang Xu Ying Li Xudong Ji Chengzhou |
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| Institution: | Li Weigang 1) Xu Ying 2) Li Xudong 1) Ji Chengzhou 1) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | zone melting recrystallization poly-crystalline silicon film solar cell |
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