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| GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究 | |
| 作者姓名： | 俞金玲 姜伟 李书平 刘达艺 康俊勇 |
| 作者单位： | 福建省半导体材料及应用重点实验室,厦门大学物理系,福建,厦门,361005 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) , 基础科研资助项目 , 国家自然科学基金 , 福建省厦门市科技计划 |
| 摘 要： | 采用椭圆偏振光谱法,在1.5~6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜.进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数. |
| 关 键 词： | 椭圆偏振光谱 GaN 薄膜,光学常数 色散模型 |
| 文章编号： | 1000-2243(2007)S0-S015-04 |
| 修稿时间： | 2007-07-18 |
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