| 电测法测量梳齿式微机械加速度计的机械参数 |
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| 引用本文： | 李疆,高钟毓,董景新,刘云峰,王松.电测法测量梳齿式微机械加速度计的机械参数[J].清华大学学报(自然科学版),2003,43(5):651-654. |
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| 作者姓名： | 李疆 高钟毓 董景新 刘云峰 王松 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家"十五"科技攻关项目(41308050103) |
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| 摘 要： | 为测量梳齿式微机械加速度计敏感元件的机械参数,提出一种静态电测法。在施力电极上加载直流电压,产生与摆片重力相当的静电引力,根据静电力与重力平衡的关系式,求解出敏感元件的实际机械参数。进行了检测电路的放大性能实验、加速度计重力场静态翻滚实验和摆片的静电吸引实验。实验结果表明,该方法能准确地估算敏感元件的实际机械参数及静态性能。与其他方法相比,静态电测法能较为全面地评估加工工艺对系统性能的影响,不需要特殊的测量环境和仪器设备,能在制造现场使用。
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| 关 键 词： | 微机电系统 加速度计 机械参数 电测法 |
| 文章编号： | 1000-0054(2003)05-0651-04 |
| 修稿时间： | 2002年6月10日 |
Electrometric method for measuring the mechanical parameters of a comb-finger micro-mechanical accelerometer |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-electro-mechanical system (MEMS) accelerometer mechanical parameters electrometric method |
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