关于肖特基结反向传导电流对掺杂浓度测量的影响

一、前言 关于用肖特基二极管c—v法测量掺杂浓度的分析工作已经有过不少文章它们各从不同的方面阐述了产生测量误差的原因。本文将指出,由于肖特基结反向传导电流的作用,对掺杂浓度的测量也会产生严重的误差,即使是对于均匀掺杂的测量,这种影响也不容忽略。为了减少这些影响,本文建议,采用一种新的c—v技术来测量掺杂浓度。