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| 纳米硅薄膜的最新进展及其在量子功能器件中的应用前景 | |
| 作者姓名： | 何宇亮 |
| 作者单位： | 南京大学物理系及固体微结构物理国家重点实验室!北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心,教授,北京,100083 |
| 摘 要： | 一、引言正当进入21世纪之际,微电子工业面临一场新的技术革命。随着电路集成度的不断提高,必然要涉及到纳米量级的器件结构,这促使人们去思考一些全新的物理问题。早在80年代初,科学家们先后提出了具有纳米（urn）量级的量子线和量子点新概念。在这些微空间里电子的性质全 |
| 关 键 词： | 纳米硅薄膜 量子功能器件 应用前景 敏感元件 |
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