| 比对法真空计校准系统的实验研究 |
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| 引用本文： | 朱武,王桂花,杨愚,王小明.比对法真空计校准系统的实验研究[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2005,28(12):1544-1546. |
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| 作者姓名： | 朱武 王桂花 杨愚 王小明 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学,机械与汽车工程学院,安徽,合肥,230009;中国科学院等离子体物理研究所,安徽,合肥,230031 |
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| 摘 要： | 文章介绍了对真空规管和仪器进行校准的比对法,阐述了校准系统的结构、原理及校准方法;探讨了被校电离规在6种不同的气体中的校准效果及校准前后的差异,说明了气体歧视效应的存在和影响,得出了各气体的相对常数;结果表明,对真空规管及仪器进行校准是必要的。
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| 关 键 词： | 真空计 比对法 校准 相对灵敏度 |
| 文章编号： | 1003-5060(2005)12-1544-04 |
| 修稿时间： | 2005年5月27日 |
Experimental research on the vacuum gauge calibrator with comparative measurement |
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| ZHU Wu,WANG Gui-hua,YANG Yu,WANG Xiao-ming.Experimental research on the vacuum gauge calibrator with comparative measurement[J].Journal of Hefei University of Technology(Natural Science),2005,28(12):1544-1546. |
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| Authors: | ZHU Wu WANG Gui-hua YANG Yu WANG Xiao-ming |
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| Institution: | ZHU Wu~1,WANG Gui-hua~1,YANG Yu~2,WANG Xiao-ming~2 |
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| Abstract: | The comparative measurement method for vacuum gauge calibration is introduced.The construction,principle and process of the calibrator are described.The effects of six kinds of gas on the calibrated ionization gauge are explored and relative sensitivity is obtained.The necessity of the calibration on the vacuum gauge and instrument is proved by the research. |
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| Keywords: | vacuum gauge comparative measurement method calibration relative sensitivity |
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