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| Co/Sb多层膜非单色反射率的计算 | |
| 作者姓名： | 冯仕猛 赵海鹰 邵建达 范正修 窦晓鸣 |
| 作者单位： | 上海交通大学物理系,上海,200240;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
| 摘 要： | Co/Sb多层膜在光子能量为528 eV和掠入射为10.3°时有近62%理论反射率. 推导出了入射光为非单色光时多层膜反射率的计算方法, 分析了不同入射光能量分辨率对多层膜测量反射率的影响. 结果表明: Co/Sb多层膜测量反射率对入射光能量分辨率有强烈的依赖性, 如果入射光能量分辨率小, 将导致测量反射率远小于理论反射率. 只有在入射光能量分辨率达到1600以上, 测量反射率才等于多层膜实际反射率. 给出了Co/Sb多层膜反射率的拟合值, 这与实验结果是吻合的. |
| 关 键 词： | 反射率 能量分辨率 多层膜 |
| 收稿时间： | 2002-11-19 |
| 修稿时间： | 2002-11-19 |
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