| Te-TeO_2-Sn-Ge非晶态薄膜的退火效应 |
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| 引用本文： | 王长安,陈四香,徐重阳,王敬义. Te-TeO_2-Sn-Ge非晶态薄膜的退火效应[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1988, 0(Z2) |
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| 作者姓名： | 王长安 陈四香 徐重阳 王敬义 |
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| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系(王长安，陈四香，徐重阳)，华中理工大学固体电子学系(王敬义) |
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| 摘 要： | 本文研究了Te-TeO_2-Sn-Ge非晶态薄膜的制备工艺以及薄膜在炉式退火后所引起的光学参数(透射率、反射率、折射率、消光系数),介电常数,光学能隙以及X射线衍射谱的变化情况,文中还分析了薄膜中各组元的作用和产生相应变化的机理。
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| 关 键 词： | 薄膜 晶化 热致暗化效应 转变温度 多元真空蒸发 |
The Annealing Effect of Thin Amorphous Te-TeO_2-Sn-Ge Film |
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| Wang Changan Chen Sixiang Xu Chongyang Wang Jingyi. The Annealing Effect of Thin Amorphous Te-TeO_2-Sn-Ge Film[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1988, 0(Z2) |
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| Authors: | Wang Changan Chen Sixiang Xu Chongyang Wang Jingyi |
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| Affiliation: | Wang Changan Chen Sixiang Xu Chongyang Wang Jingyi |
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| Keywords: | Thin films Crystallization Thermo-darkening effect Transition temperature Multi-component vacuum evaporation. |
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