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| 用一维Mason模型模拟薄膜体声波谐振器研究 | |
| 作者姓名： | 程伟 |
| 作者单位： | 咸宁学院,信息工程学院物理系,湖北,咸宁,437005 |
| 摘 要： | 采用一维Mason模型,研究体声波谐振器的频率特性,探讨压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,研究谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响. |
| 关 键 词： | 体声波谐振器 Mason模型 压电薄膜 频率特性 |
| 文章编号： | 1006-5342(2006)06-0052-02 |
| 修稿时间： | 2006-07-07 |
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