| 数字光栅测振传感器性能分析与测试 |
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| 作者姓名： | 南忠良 叶声华 陈宁 李建良 李淑清 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津科技大学电子信息与自动化学院,天津科技大学电子信息与自动化学院,天津科技大学电子信息与自动化学院 天津 300072,天津科技大学电子信息与自动化学院,天津 300222,天津 300072,天津 300222,天津 300222,天津 300222 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(40174031)． |
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| 摘 要： | 为完善光栅测振传感器的性能,将光栅莫尔条纹技术应用到振动测量,在完成光栅测振传感器原理性实验的基础上,进行了理论分析,并就其特性进行了实验研究.通过构建高精度光栅传感器测试系统,对传感器的静动态特性进行深入研究,并建立了动态模型.实验证明,光栅测振传感器分辨力可达0.025μm,动态频率误差小于1.5%,振幅误差小于3.8%.
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| 关 键 词： | 光栅传感器 莫尔条纹 振动测量 数字信号 特性测试 |
| 文章编号： | 0493-2137（2005）10-0919-04 |
| 修稿时间： | 2004-03-19 |
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