薄膜传感器实验教学创新与实践

该文将器件理论教学与具体实验操作有机结合,对薄膜传感器制备技术实验课程的设计和教学方式进行了创新。设计了薄膜温度传感器制备的实验方案,采用多种薄膜制备手段,搭建了相关器件性能的测试平台并对实验的考核评价体系进行了创新。创新的实验设计吸引了多学科的学生加入,训练了学生的主动思考和动手能力,为建立创新型人才培养体系奠定了基础。