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硅晶体生长温度梯度及生长速度的数值模型建立与分析
作者单位:青海大学机械工程学院,青海西宁810016;阳光能源(青海)有限公司,青海西宁810000
基金项目:青海省科技厅应用基础研究项目
摘    要:


关 键 词:硅晶体  数值模型  温度梯度  生长速度
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