| 用Wagner方程研究Ti衬底与Al膜间的反应和互扩散 |
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| 引用本文： | 孙达,王丽英.用Wagner方程研究Ti衬底与Al膜间的反应和互扩散[J].兰州大学学报(自然科学版),1995,31(1):22-30. |
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| 作者姓名： | 孙达 王丽英 |
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| 作者单位： | 兰州大学物理学系 |
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| 摘 要： | 本文根据Ｔｉ与Ａｌ膜间的反应和互扩散动力学提供的浓度分布曲线，用Ｗａｇｎｅｒ方程计算Ｔｉ衬底与Ａｌ膜间在Ｔｉ相变点上、下Ａｌ的互扩散系数Ｄ和激活能Ｑ，找出了互扩散系数与温度与成分的变化规律，计算结果表明，扩散激活能的大小次序是：ＱＴｉ３Ａｌ＞ＱＴｉＡｌ＞Ｑａ－Ｔｉ（Ａｌ）＞Ｑｂ－Ｔｉ（Ａｌ）。
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| 关 键 词： | 激活能 金属学 钛 铝 薄膜 扩散 |
A Study on the Interdiffusion between a Ti Substrate and an Al Film with Wagner's Equation |
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| Sun Da,Wang Liying.A Study on the Interdiffusion between a Ti Substrate and an Al Film with Wagner''''s Equation[J].Journal of Lanzhou University(Natural Science),1995,31(1):22-30. |
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| Authors: | Sun Da Wang Liying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface moderflcation intermetallic compound activation energy |
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