| 不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究 |
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| 引用本文： | 王勇,张耀锋,尉伟,王建平,范乐,蒋道满,朱存宝,刘祖平.不锈钢管道溅射镀TiN薄膜实验研究[J].中国科学技术大学学报,2007(5). |
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| 作者姓名： | 王勇 张耀锋 尉伟 王建平 范乐 蒋道满 朱存宝 刘祖平 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 |
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| 摘 要： | 在不锈钢管道溅射镀膜装置上,通过对不锈钢管道真空室进行溅射镀TiN膜的反复多次实验及对镀膜实验结果的分析,得到了一整套适用于加速器管道真空室内壁溅射镀TiN膜的表面处理参数.实验结果表明,在压强为80～90 Pa、基体温度为160～180 ℃的镀膜参数下,不锈钢管道内壁能获得符合加速器物理要求的TiN薄膜.
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| 关 键 词： | 直流溅射 TiN膜 真空室镀膜 表面处理 |
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