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论磨石、毛刷组合对硅晶体表面处理的影响
作者姓名:马帅
作者单位:英利能源 中国 有限公司 河北保定 071000
摘    要:
抛光工序作为晶体硅太阳能行业重要的一个工序,将硅锭经过钢线摩擦切割成硅块后,硅块表面变得粗糙不平,必须经过表面抛光才能进行硅片的切割。硅块表面的抛光直接影响硅片切割的质量。硅块在抛光过程中的磨石1有粗砂轮、细砂轮、金刚砂砂轮、毛刷2四种抛光材质。该文对四种材质磨石分别比较。首先对比粗砂轮、金刚石砂轮在处理硅块表面的"鼓肚"和大锯痕切割现象的差异,确定哪种材质效果更好;再使用此种材质砂轮分别配合细砂轮和毛刷精抛,通过抛光后粗糙度对比确定哪种材质精抛效果好。

关 键 词:硅块  抛光  砂轮材质  组合
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