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金刚石膜的合成与展望
作者姓名:
赵文轸
作者单位:
西安交通大学材料学院
摘 要:
金刚石作为装饰品,被人们称为宝石。其实,它在工业上也是十分珍贵的材料,例如被称为现代工业粮食的集成电路,其基板就是用金刚石把单晶硅切成的薄片。利用金刚石还可在硅的表面制造电子器件。可以说,没有金刚石,就不能想象会有信息社会和高技术的机电产品。
关 键 词:
金刚石膜 人工合成 合成
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