金膜、光盘和LB膜的摩擦力显微镜研究 |
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引用本文: | (路新春,(温诗铸,(雒建斌,(赵磊,(戴长春,(张平诚,(白春礼.金膜、光盘和LB膜的摩擦力显微镜研究[J].科学通报,1996,41(10):885-888. |
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作者姓名: | (路新春 (温诗铸 (雒建斌 (赵磊 (戴长春 (张平诚 (白春礼 |
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作者单位: | 清华大学摩擦学国家重点实验室 北京100084
(路新春,温诗铸,建斌,赵磊),中国科学院化学研究所 北京100080
(戴长春,张平诚),中国科学院化学研究所 北京100080(白春礼) |
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基金项目: | 清华大学摩擦学国家重点实验室基金,中国博士后科学基金 |
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摘 要: | 纳米摩擦学的提出适应现代科学技术发展的需要.传统的摩擦磨损和润滑理论经过百多年的发展,虽然已经比较完善地解决一般工程设计问题,但对于摩擦学机理的认识和实现主动控制还存在许多问题,特别是对于微型机械或超精密机械中,例如极轻载荷、纳米尺度间隙下的摩擦磨损和润滑问题.宏观摩擦学已不适用.摩擦力显微镜(Friction force micro-scope,以下简称FFM)的出现为人们能在纳米尺度上进行摩擦磨损实验提供了有效工具.虽然国外学者已利用FFM作了许多工作,但用FFM进行纳米摩擦学实验并不象宏观摩擦磨损实验那样成熟.我们在研制FFM的基础上利用FFM进行了尝试性试验,本文报道了一些初步结果.关于摩擦力显微镜的描述见文献7].作为摩擦力显微镜力传感器用的微悬臂是通过镀膜、刻蚀等工序制作而成.微悬臂呈三角形结构,材料为Si_3N_4,自由端有一个金字塔形微探针.当探针与样品接触时,可以控制压电陶瓷的伸缩使微悬臂产生不同程度的弯曲,从而实现微载荷定量设定,微载荷可通过下式求得:L=k·△h=k·p·△V,(1)其中k是微悬臂的弹性系数;△h是微悬臂的法向位移;p为压电陶瓷的伸缩系数;△V为加在压电陶瓷上的电压变化.实验材料有3种,分别为精抛光玻璃表面真空沉积的金膜、激光唱盘基片和小分子花生酸与高分子液晶
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关 键 词: | 纳米摩擦 金膜 光盘 润滑 LB膜 摩擦力 显微镜 |
收稿时间: | 1995-07-11 |
修稿时间: | 1995-11-20 |
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