无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法

将无衍射光与莫尔条纹技术相结合，发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术。此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性。由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径，此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量，并且测量系统具有体积小，操作简单，分辨率高等优点。