10,6μmGe-Ag-Ni空心波导射频溅射镀膜的一种新方法 |
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引用本文: | 叶玉堂,叶莉娜,王瑞峰,陈冠华,沈晓,洪永和.10,6μmGe-Ag-Ni空心波导射频溅射镀膜的一种新方法[J].应用科学学报,1996(4). |
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作者姓名: | 叶玉堂 叶莉娜 王瑞峰 陈冠华 沈晓 洪永和 |
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作者单位: | 电子科技大学 |
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基金项目: | 国防科工委和电科院资助 |
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摘 要: | 该文提出一种射频溅射镀膜的新方法,讨论了该方法对小孔径10.6μmGe-Ag-Ni空心波导制作的意义,利用该方法已制成样品,同时给出并比较了几个不同孔径样品的光透射率.
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关 键 词: | Ge-Ag-Ni空心波导,10.6μm波导,射频溅射 |
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