氮化铝（AlN）薄膜的光学特性研究

研究了宽禁带Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体氮化铝（Ａ１Ｎ）薄膜的折射率及其热光特性，采用棱镜－－薄膜硝装置和自动温控光波导测试仪，测出不同温度不氮化铝薄膜的波导特性，利用迭代法可得到Ａ１Ｎ的折射率与温度变化的关系，并首次没得了Ａ１Ｎ薄膜的热光特性。